型号6400

自动化、高精度芯片贴装系统

灵活、全自动的芯片贴装系统,由用户友好的Windows XP®软件控制。

该系统可以安装在独立的工作台上,也可以以“桌面式”配置(无工作台)提供。

型号6400执行MCM、倒装芯片、共晶和超声波组装的冷热工艺。

闭环伺服系统和高分辨率数字视觉系统确保了3微米@3西格玛(取决于工艺)的极高贴装精度。

处理尺寸从0.2毫米到超过25毫米的有源和无源元件。

可从最多30个2英寸或9个4英寸的华夫或凝胶包装载体中拾取。

可从最大300毫米的晶圆中拾取。

可从最多12个带卷供料器中拾取。

专注于特殊芯片尺寸和纵横比。

体积或时间压力分配器以可编程形状涂布粘合剂。

冲压(针转移)可涂布小至75微米的粘合剂点。

具备完整的倒装芯片功能,包括芯片翻转、凸点涂布和通过上视摄像头进行芯片最终对准。

处理CCD和其他传感器、LCD、MEMS及其他敏感设备。

具有可编程BLT的独特芯片堆叠功能。

规格

工作区域 最大12″ x 10″
芯片尺寸 0.165 mm ~ 超过50 mm
芯片厚度 从50微米起
芯片纵横比 超过1:50
Z轴行程 20 mm
芯片材料 GaAs、硅、玻璃、其他
芯片供应方式 -最多30个华夫/凝胶包装
-最多8个带卷供料器
-1片300 mm晶圆
体积、时间-压力或喷射点胶
上述点胶方式的组合
冲压(针转移)可形成小至75 µm的点
最高500°C的冷热工艺,带成型气体保护
最高500°C的加热拾取工具
超声波焊接工艺
集成UV固化系统
精确的粘合线厚度控制
先进的芯片堆叠功能
拾取/粘合力: 40 ~ 3000克
贴装精度: ±3 µm(根据应用)

吞吐量: 最高1000 CPH(根据应用)

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