吞吐量: 最高1000 CPH(根据应用)
灵活、全自动的芯片贴装系统,由用户友好的Windows XP®软件控制。
该系统可以安装在独立的工作台上,也可以以“桌面式”配置(无工作台)提供。
型号6400执行MCM、倒装芯片、共晶和超声波组装的冷热工艺。
闭环伺服系统和高分辨率数字视觉系统确保了3微米@3西格玛(取决于工艺)的极高贴装精度。
处理尺寸从0.2毫米到超过25毫米的有源和无源元件。
可从最多30个2英寸或9个4英寸的华夫或凝胶包装载体中拾取。
可从最大300毫米的晶圆中拾取。
可从最多12个带卷供料器中拾取。
专注于特殊芯片尺寸和纵横比。
体积或时间压力分配器以可编程形状涂布粘合剂。
冲压(针转移)可涂布小至75微米的粘合剂点。
具备完整的倒装芯片功能,包括芯片翻转、凸点涂布和通过上视摄像头进行芯片最终对准。
处理CCD和其他传感器、LCD、MEMS及其他敏感设备。
具有可编程BLT的独特芯片堆叠功能。
工作区域 | 最大12″ x 10″ |
芯片尺寸 | 0.165 mm ~ 超过50 mm |
芯片厚度 | 从50微米起 |
芯片纵横比 | 超过1:50 |
Z轴行程 | 20 mm |
芯片材料 | GaAs、硅、玻璃、其他 |
芯片供应方式 | -最多30个华夫/凝胶包装 -最多8个带卷供料器 -1片300 mm晶圆 |
体积、时间-压力或喷射点胶 | |
上述点胶方式的组合 | |
冲压(针转移)可形成小至75 µm的点 | |
最高500°C的冷热工艺,带成型气体保护 | |
最高500°C的加热拾取工具 | |
超声波焊接工艺 | |
集成UV固化系统 | |
精确的粘合线厚度控制 | |
先进的芯片堆叠功能 | |
拾取/粘合力: 40 ~ 3000克 | |
贴装精度: ±3 µm(根据应用) | |
吞吐量: 最高1000 CPH(根据应用) |